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Definicje „Mikrosystemtechnik“ w Słownik ortografii niemieckiej

die Mi̱·k·ro·sy·s·tem·tech·nik

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niemiecki
In der Mikrosystemtechnik wird es zum selektiven anisotropen Ätzen von einkristallinem Silicium eingesetzt.
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Die Aktoren werden beispielsweise aus Formgedächtnislegierungen gefertigt, die vorteilhafte Leistungsdichten aufweisen, die vor allem im Mikrosystemtechnik Bereich genutzt werden können.
de.wikipedia.org
Die Bezeichnung wird jedoch auch in der Mikrosystemtechnik verwendet.
de.wikipedia.org
Für kleinere Flussraten, bis hinunter in den Bereich von Nanolitern pro Minute, werden auf Mikrosystemtechnik basierende Sensoren eingesetzt.
de.wikipedia.org
Von smarten Hydrogelen werden beträchtliche Impulse für die chemische Sensorik, Mikrosystemtechnik und Mikrofluidik, Regelungstechnik sowie Medizintechnik erwartet.
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Mit Fertigungstechniken der Mikrosystemtechnik können auch dreidimensionale Strukturen mit mechanischen Funktionen wie Aktoren, Motoren, Pumpen, Stecker etc. hergestellt werden.
de.wikipedia.org
Es ist heutzutage ein oft verwandtes Verfahren, um die Übergangswiderstände von Halbleiter- und Metallschichten in zum Beispiel der Mikrosystemtechnik zu bestimmen.
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Zumeist wird der Begriff in Verbindung mit der Mikrosystemtechnik genannt.
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In der Mikrosystemtechnik werden auch höhere Strukturen benötigt.
de.wikipedia.org
Oft spricht man bei der Mikrosystemtechnik auch einfach nur von der Mikrotechnik.
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